第150章 第二代光刻机下线
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王铭和陈蕊匆匆赶到光电所的时间已经有点晚,所长开玩笑道,“我还以为你今天不过来了呢!”
王铭嘿嘿一笑,答道,“昨天出了点事情,今天过来晚了点,实在是抱歉。”
所长摆摆手道,“跟你开玩笑呢,走,带你去看看新家伙。”
所长带着他们来到研究所的无尘车间,众人换好无尘服后,进入里面,所长指着三台大型机器说道,“这三台就是你定制的第二代光刻机,采用你提供的双工件加工技术,芯片生产效率比老款提高了40%左右。”
“这台光刻机可以生产0.8-0.35微米的各种制程芯片,良品率和工作效率都大幅提升。特别是在0.35微米芯片的生产上,一代产品良品率只要45%左右,这一代提高到了72%左右;上一代产品的一次性只能装载30块原晶,改进之后提高到了50块。”
“这一代的产品怎么提升这么大的?”
“还不是你提供的技术方向给了我们很大的启发,我们在这一块接触式光刻机方面本来就有比较深入的研究,接近式光刻机方面在81年就已经有了成品,在你带来的技术加持下,有这个成绩并不奇怪。”
所长有些好奇问道,“这次一次性订购了三台,你能卖得出这么多芯片吗?”
“这个你不用担心,现在我可是好几条产品线、好几样新产品蓄势待发,就差你这边的光刻机了!”王铭想起自己那些还停留在技术图纸上的产品,忍不住追问,“第三代扫描投影式光刻机的研发进展怎么样了?”
“第三代扫描投影式光刻机我们这边也有技术储备,在85年的时候就已经成功研制出来,只是后面没有合适的产品应用,一直被束之高阁。”所长不由有点惋惜,“现在有了你这边的批量化生产的经验积累和提供的技术方案,在第三代光刻机方面的进展非常顺利。”
“那多长时间能够用上?我估计第二代光刻机用不了两年就会被淘汰。”他解释道,“M国那边的第三代 光刻机现在应该已经进入成熟阶段,只是因为成本的问题,一直没有推广开来。现在有了我这条过江猛龙,想必最迟1998年就会批量生产第三代光刻机。”
“放心,在第三代光刻机方面,我们肯定不会拖你的后腿,最迟今年年底,就可以试制完成。”所长指着一旁安装到一半的机器道,“这就是第三代机器了,目前的进度已经过半,加上之前的技术积累,年底完成不成问题。”
“第
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